半导体摆设构造错杂，体积宏伟，集成度高，由种类众多的零部件组成。而伴 随半导体创立工艺的进步，对半导体开发提出了越来越冷酷的规格请求。半导体零 部件以是在质料、布局、工艺、品格、精度、实在性、平静性等各方面面临更高的 标准，有别于古代机械组件。

　　以等离子体兴办为例，缭绕反应腔方圆，散播着仔肩气体调配和供给的 Gas Box 和 MFC 模块，职守创筑等离子体的射频电源模块，职掌创立反应腔真空碰着 的真空模块（包括多种泵、阀等），以及多种监测压力、真空度等反映央求的仪器 样貌等，配合构建了高集成度的晶圆创筑摆设。

　　半导体零部件的种类划分有多种准绳，若用命组织组成，可大概分为：机器类、 电气类、机电一体类、气/液/真空体制类、仪器像貌类、光学类等； 若按兴办腔体内部进程和所告竣的功用来判别，零部件可分为电源和射频控 制类、气体输送类、真空限度类、温度限制类、传送安装类等； 遵照半导体零部件质料系统来分又或者分为金属件、石英件、硅/碳化硅件、 陶瓷件、石墨件、塑料件等； 按半导体零部件任事目标来分，又能够分为邃密机加件和通用外购件。值得注 意的是这两种类别亦代表了两种零部件生产模式，严谨机加件屡屡由各个半导体 修立公司的工程师自行计划，而后委外加工，如工艺腔室、传输腔室等，相对简略； 而通用外购件则是极少体验长时间验证，得到繁密配置厂和创制厂盛大承认的通 用零部件，加倍具有准绳化，会被区别的开发公司欺骗，也会被作为产线上的备件 耗材来愚弄，例如硅布局件、0 型密封圈(O—Ring)、阀门、规(Gauge)、泵、气 体喷淋头(shower head)等，由于这类部件完满较强的通用性和一概性，并且供给 获得开发、创立产线上的认证，以是壁垒相对较高。

　　光刻机行动一种光学筑造，其首要构成囊括光学相干模块和活动联系模块，该 两私人亦在光刻机 BOM 成本中泯没较大比重，席卷和光学相关的光源形式、透镜 体制、重没格式等，以及和周密举止联系的晶圆工作台、晶圆传输形式、圆模板工 作台、掩膜版传输方式，以及保护内中事迹境况的环境电气庇护系统等。行为价值 量最高的晶圆缔造设备，光刻机零部件具有举世供应链性情。

　　光学私人的中央部件为光源和透镜格局。光刻机所拔取的光源紧张为波长 248nm 的 KrF 光源、波长 193nm 的 ArF（干式/重没式）光源和波长 13.5nm 的 EUV 光源，业内紧要供应商为美国 Cymer，并由光刻机权威 ASML 于 2012 年以 25 亿美元收购。透镜体例则是光源之外的另一紧张关头，主要用于 DUV 的光学 编制中，在 EUV 时代将由一系列高精度的反射镜格局取代，光刻机透镜组的业内 急急提供商为德国光学仪器龙头蔡司。

　　严谨的举止方式亦为光刻机核心组件。当图案在晶圆上光刻成像时，供给将掩 模版沿着一个局促的光缝光滑搬动，每次只曝光图案的一小局部；同时，晶圆向相 反的宗旨安定挪动，以捕获全盘图案，二者的举动务必绝对同步，因而行为局部的 精度至关紧要。而在晶圆平台，由 ASML 主导了双工件台的筹划，及同时挪动两 个晶圆平台，当一个晶圆平台在给晶圆进行曝光时，另一个平台可对下一片晶圆进 行量测校订，其速度和精度直接裁夺了光刻机的生产效力和良率。 眼前业内三大光刻机龙头厂商 ASML、Nikon、Canon 的工件台体系均由其自助部署，始末自产/代工形态自立供应而过错外出售。国内厂商华卓精科在此领 域亦参预了较大研发，举办了产品验证事迹。

　　等离子体修筑包罗 PECVD、干法刻蚀、干法去胶等，在晶圆修立前途枢纽占 据主导身分和急急价钱量。据 Gartner 数据，2021 年举世半导体建设市集，等 离子体薄膜配置和干法刻蚀/去胶配置闭计占修立市集总领域的 31%，等离子体 筑造共有的等离子源、真空编制、气体格式、反应腔模组等组件以是有伟大运用， 以下全班人们将分类钻研。

　　而建立后段的传输平腔（TM，transfer module），其影响是络续 EFEM 和反 应腔（PM），并担任晶圆传输的感化。在等离子体薄膜/刻蚀配置中，传输腔平凡 为真空境遇（VTM，vaccum transfer module）。传输腔的紧张组成包罗腔体、 中心的真空机器手、传输腔与反映腔衔接处的门阀，以及各样真空密封件。

　　包蕴响应腔在内的工艺模块（PM，process module）则有着更为芜乱的结 媾和功效。等离子体薄膜/刻蚀筑造的工艺模块包罗形成射频电压的射频出现器、外部供气模块（Gas box、Gasline、MFC 等）、创造真空境况的泵、阀、密封件、 真空面目等，以及反映腔。而反响腔内中另有承载晶圆的静电卡盘（E-chuck）、 电极、气体喷淋甲等零部件。

　　热照拂配置，告急席卷各样立式炉、卧式炉，吃紧用于氧化、退火等工艺，亦 在晶圆创办进程中有雄壮应用。炉管设置的急急零部件囊括石英管、气体需要模块、 温控模块，以及百般泵、阀、密封件等。

　　资历上述探究，不难看出机械类和电气类零部件为大多半半导体筑筑的告急 组成私人，并恢弘运用于各式配置楷模。气/液/真空系统则从命筑立的效劳性分歧 而搭载。仪器面貌类亦有较强的通用性，但在设置 BOM 资本中占比相对低。而光 学类零部件较为非常，仅在光刻和量测类开发种有诈骗，但在这两类特定设置种有 较高的价值量占比。

　　体验斗劲国内三家代表性修筑供应商，我发现等干法建立（如拓荆科技的 PECVD、屹唐股份的干法去胶和干法刻蚀设备）屡屡电气类和机电一体类零部件 占比更高，二者的招股书最新通知期内电气类+机电一体类零部件占比分手到达 39%和 43%；而湿法开发（如华海清科的主业 CMP 修筑）等没有真空反映腔， 没有气体反映的摆设，经常 BOM 资本中板滞零部件的占比常常较高，华海清科 2021 年采购额中，机器零部件占比达 67%。

　　动作半导体筑筑的紧要成本构成，半导体兴办零部件亦有百亿美元级别的市 场空间。 频年来，举世半导体修设市场范畴渐渐放大。据 WSTS 统计，2010 年到 2020 年，环球半导体产品市场领域从 2,983 亿美元神速扶助至 4,404 亿美元，展望到 2030 年，环球半导体市场界限有望抵达万亿美元。半导体筑立的市场景气度与半 导体商场规模高度相干。听命 SEMI 统计，举世半导体配置销售畛域从 2010 年 395 亿美元延长到 2021 年的 1026 亿美元，此中华夏大陆商场 296 亿美元。SEMI 预测到 2022 年将进一步增长 15%至 1,175 亿美元。

　　设备市场的速速增长带动修造零部件须要。据全班人统计，国内半导体建设上市 公司年度贸易本钱中，质料采购本钱占比约在 85-95%，而毛利率约在 38-45% 掌管（即本钱率 55-62%），可谋略质料采购资本约为公司昔日营收的 50%独揽。 据此所有人谋划，2021 年举世半导体摆设阛阓 1025 亿美元对应 500 亿美元 操纵的零部件采购额，华夏大陆阛阓 296 亿美元设置阛阓对应零部件市场约 150 亿美元。

　　半导体筑立零部件的种类孔多，此中机械类属于行使最广的品类，全班人国在其主 要产品身手方面已竣工冲突和国产取代。其他种类的产品也在不停竣工身手打破， 但产品承平性与整齐性仍与国际先辈水平生活差距，况且在高端前辈制程愚弄中 的国产化率更低、冲破难度更高，国产化经过仍面临诸多难点。

　　大家国机器加工产业成熟，但原料财产起源较为亏弱，险些指标尚待精进。如精 密陶瓷件对资料症结指目标央浼较高，供应高纯度、高邃密度、分外平均且安祥的 布局组织，国内材料厂尚处于研发环节。

　　公司半导体配置细密零部件产品完全高严谨、高单纯、高耐腐蚀、耐击穿电压 等功能，因此在加工件中，神态加工仅是根基，仅惬心模样精度央浼，后端的外表 收拾与洗涤工艺中有更多的技艺储积。好比看待反响腔而言，供给同时齐全耐侵蚀、 耐击穿、高洁净度，并能达成高密封性和高真空度。

　　而要完成如许严格的性能指标，轮廓收拾本领至合主要。以干法制程和湿法制 程为例，湿制程时时处于强酸、强碱碰着中，屡屡供应对零部件概况举办阳极氧化 和化学镀膜。而干法制程往往处于侵蚀性氛围和高温际遇，对外面照望央求更高， 常用的是电解扔光和等离子喷涂工艺，以扶助零部件皮相的耐侵蚀性。

　　半导体建立是芜乱的机电一体化编制，个中涉及到大批的电气组件运用，相较 金属加工件，电气类组件的组织更零乱，国内关系厂商仍处于起步阶段。 比如泵产品，纵然沈阳科仪已成为国内晶圆线干泵的紧要供给商之一，但半导 体级的高真空度冷凝泵（cryopump）和涡轮泵（turbopump）国产化率如故较低。又如射频电源（RF generator）这类局部工艺制程的中心模块，直接关连到反 应腔内等离子体的浓度与平均度，对其输出功率的宁靖性、电压质地、频率质地等 指标要求极高。国内产品与 AE、MKS 等国际先进产品又有差距，少量使用于国内 半导体开发厂商。

　　半导体筑造行业内有较为肃静的认证格局和提供商天资认证编制，若要加入 国内外修造厂商的提供链，需要通过持久且峻严的客户认证，得到认证后也要相联 举办不定期的天赋复审，才智与下搭客户筑立长远安宁的互助关联。

　　比如 Gauge、MFC、O-ring 等零部件，不仅对精度和质料的哀求高，并且半 导体级产品的市集边界很小，各品类下的厂商体量都较小。通常用于食品、医药等 界限的产品不惬心半导体级规格，半导体级产品生计较多技艺壁垒、软力量要求高， 有良多 Know-How。

　　纵然前文中，你们们将半导体开发的种类大抵的分为机械类、电气类、机电一体 类等大类，但由于半导体装备精密度高、布局芜杂，供应的零部件种类及数量极其 巨大，在每一个大类中也有较多的细分品类，市集高度碎片化。据芯谋咨议数据， 2020 年中国晶圆厂商采购的 8-12 寸晶圆装备零部件产品构造占比较大的涣散为 石英件、射频发生器、泵、阀门、吸盘、反映腔喷淋甲第，别离占比 11%、10%、 10%、9%、9%、8%。

　　由于细分品类的高度碎片化，况且不同零部件之间生计着必定的分歧性和技 术壁垒，以是半导体零部件商场并未展现一个支配型的大型提供商，各赛道的龙头 供给商大多是特长于单一或少数品类。好比 ZEISS 善于光学部件，Edwards、日 本荏原的真空泵，AE 结构射频形成器，VAT 的阀门零部件等。紧张龙头厂商收入 体量大多在几亿美元到十几亿美元的体量，相较数百亿美元的总商场界线，各稳浸 总体商场中份额都不高。据 VLSI Research 数据，近 10 年里，半导体零部件市 场前十大提供商的商场份额总和盛世在 50%掌管。 从区域撒布上看，除了光刻机零部件商场以 ASML 和其举世需要链提供商组 成之外，其我们通用型零部件商场吃紧由美国、日本提供商主导。国内暂无边界相当 的零部件厂商显露。

　　纵然半导体零部件行业集体 CR10 在 50%驾御，但在单一细分品类鸠集度往 往高达 80-90%，涌现出行业团体碎片化+局部高垄断的式子。

　　呆板手即财产机器人，经常指愚弄在家当临蓐流程中，效尤人类手臂打算具有 串联多要害布局的机器人。呆板手能照样人手臂的某些行动成效，按固定纪律抓取、 搬运物件或摆布工具的主动支配装配。半导体呆滞手紧要适宜于集成电道、芯片制 造等半导体前段工序，用来搬送晶圆。机械手是 EFEM（开发前端模块）和 TM（真 空传输）的中心组件，用于在扔光、刻蚀、扩散、沉积、安装、包装和试验等的半 导体加工规律中，对半导体晶片实行传输与定位。

　　按工作碰到的区别，硅片搬运死板人或许分为真空呆板人和大气刻板人。真空 机器人大多用在集束型修造中，在线pa 境遇下资历轨迹筹办完成对硅 片的传输和定位。大气板滞人常用在纯正大气际遇中，现在使用最为雄壮，拥有接 近 60%的商场份额。 环球半导体呆滞手商场卖出额稳步增长，界线渐渐夸大。2021 年市场出卖额 为 836.4 百万美元，QYresearch 预计 2027 年市集销售额将高达 1347.6 百万美 元，年复关增长率为 8.3%。

　　坐蓐层面看，举世半导体机器手市集紧要由美国和日本厂商主导。日本是最大 的半导体呆滞手临盆地域，占领大抵60%的市集份额，美国占有20%的市集份额。中国据有商场份额不大，如今本土企业由新松刻板人主导。 举世第一梯队厂商主要有 3 家，折柳是 Brooks Automation、RORZE Corporation 和 DAIHEN Corporation，共占有大致 55%的阛阓份额。第二梯队 厂商告急是几家日本厂商 Hirata Corporation、Yaskawa、JEL Corporation、 Nidec 和 Robostar，2020 年据有约略 27%的商场份额。

　　真空泵是用来出现、刷新和支柱真空境况的装备，是真空式样的核心。半导体 建立中，加倍是核心的干法工艺，宽广涉及到真空反应处境，而真空体系直接合联 到芯片的机能和良率。

　　半导体真空泵的必要不断增进，真空开发阛阓毗连伸张。听命 Edwards，一 个月产 4 万片的晶圆厂，大约供应上千台真空泵及尾气照应式样，和 500 台涡轮 分子泵。据华经家产磋商院预计，2022 年全球半导体用干式线%。

　　从竞赛名目上看，环球真空泵市场较为咸集，严重由 Atlas、Pfeiffer、Ebara 等少数几家公司埋没。Atlas 比年来不停放大，收购了 Quincy、Edwards、Leybold 等公司，成为举世线 年线 亿元（含非半 导体真空泵）。Pfeiffer 产品除真空泵外，还席卷测量与阐扬筑立、装配用具等， 半导体及新兴技术领域营收为 27.52 亿元。

　　静电吸盘是一种适用于真空遭遇或等离子体境遇的超纯净晶圆片承载体，它 玩弄静电吸附原因将晶圆片加以固定并举行控温。静电吸盘伟大利用于 PVD、 PECVD、刻蚀、离子注入等高端半导体创制建造。 静电吸盘的基本理由是异种电荷之间互相吸引，即晶圆片与电极之间阅历不 同种电荷之间的库仑力彼此吸引，使晶圆片安定在电极上。于是静电吸盘的吃紧结 构包罗陶瓷外壳、电极、用于节制温度的气体通路等。

　　静电吸盘形成的吸附感动源安稳一切吸附面上均匀出现的电流的实力，因此 不会对工件施加物理压力。而机器吸盘经过机械固定工件，或许导致工件摧毁、弯 曲；真空吸盘经历真空泵创制真空状态来固定工件，简便在工件上留下吸附压痕， 在当今的半导体创修工艺中曾经基本由静电吸盘代替。

　　举世静电吸盘市集具有高度应用性，由日本和美国企业主导，囊括美国企业 Applied Materials、LAM 等修立原厂的自主临盆，以及日本企业 Shinko、TOTO、 NTK 等第三方需要商，市集鸠集度较高。华夏要紧厂商包括广东海拓改正和北京 华卓精科公司。2021 年，华夏静电吸盘阛阓周围到达 21.12 亿元，Global Info Research 瞻望 2028 年将到达 34.81 亿元，2022-2028 年复合伸长率为 7.29%。

　　电源按输出样板可分为直流电源和交流电源。前者可分为线性稳压电源和开 合型稳压电源。后者可分为低频交换电源和高频交流电源。射频电源属于高频互换 电源，职业频率在 300KHz-300GHz 之间，由增添器、直流电源、检测器和限制 器四大模块构成。

　　射频（RF Radio Frequency）是一种高频互换改变电磁波的简称。在电子学 理论中，电流流过导体，导体周遭会形成磁场，而交变电流经验导领略形成电磁场， 称为电磁波。在电磁波频率高于 100KHz 时，电磁波大概在气氛中撒布，天博App并经大气层外缘的电离层反射，变成远间隔传输本领，这种具有远距离传输才具的高频电 磁波被称为射频。射频电源是等离子体产生器的配套电源，首要用于在低压或常压 空气中发作等离子体，在集成电途制造工艺中被昌大利用于射频溅射、PECVD、 等离子体刻蚀及其大家工艺界限。

　　全球射频电源商场式子聚关度高，露出寡头比赛的进展趋势，两大供给商 MKS Instrument 和 Advanced Energy 均来自美国。如前文所述，射频电源占零部件 市集总体的 10%掌管，即对应 2021 年约 50 亿美元的环球阛阓。而 AE 在 2021 年竣工半导体业务收入 7 亿美元，MKS 完成半导体贸易收入 18 亿美元（不全为 射频电源），占据较高市场份额。

　　如前所述，半导体零部件商场具有高度碎片化的性情，因而环球市集并未透露 像摆设领域的 AMAT 相通的摆布型巨擘。龙头公司均是在己方所处赛道深耕，扩 大产品线。而张望国外龙头的发扬途途，大家们开采全部人大多是经验接连的投资并购 来推广自己营业幅员。大家认为，来日设置零部件行业会衔接走向整合和集关，对 于如此碎片化的商场，唯有完备充足的鸿沟，才力发扬技艺复用优势、发作界线效 应，满控制游设备市集高速希望的须要。

　　MKS Instruments Inc 是一家仪器、体制、子系统和经过节制处置计算的全 球供应商，为测量、局部、电源、监控和叙述临盆经过中的参数供给用具，子形式 和经过控制统治打算。公司产品席卷质地流量限制器和姿色、电容压力机、真空计 和阀门、气体发挥仪、射频电源等，深耕半导体和前辈缔造业商场，2020 年半导 体市集收入占总收入的 60%，先辈创立业占比 40%。 MKS 公司在多个产品市场吞噬领先处所，越发是干法兴办种较为核心的射频 电源和 MFC 气体流量计都是公司的优势品类。

　　MKS 公司交易国界来谦虚续的并购。公司 2013 年收购 Alter，扩大电源版图， 引入微波电源；2014 年收购 Granvile-Phillips，完整真空测量产品及局部仪器； 2016 年收购 Nowport，进步微电子、生命和强健科学以及家当树立商场；2019 年收购 ESI；2021 年收购 Photon Control，继续扩大公司生意。

　　追随下业的高快开展，公司营收体量不断发达，亦保护了较高的利润率水 平。公司 2015 年营收为 52.83 亿元，2021 年营收为 188.06 亿元，复合拉长率 为 23.57%，比年毛利率稳定在 45%邻近，净利率在 2021 年达到 19%。

　　UCT（Ultra Clean Holdings Inc.）是在半导体边界供给合头子体系和超高纯 度零件的开发商和需要商，成立和任事基地宣扬举世。公司产品席卷周到呆滞人解 决安插、气体输送形式、种种财产和自愿化分娩兴办产品，以及席卷晶圆洗涤模块、 化学品输送模块、顶板组件等的子系统。公司供给的零部件包罗超清洁阀门、高纯 度不断器，气动执行器等。

　　公司 1991 年举动三菱金属的子公司建立，2004 年上市，2006 年开启垂直 整合企图，萦绕半导体中心生意并购数家公司，完善在半导体界限的产品矩阵，不 断增加营业产品。

　　从轻贱组织上看，UCT 收入首要来自 Foundry & logic 厂商，2022Q2 该领 域收入占比 42%，其次是记忆芯片规模占比 36%。公司客户集中度较高，客户关 系安好。前两大客户供应约 64%的营业收入，此中 Lam 占比 41%，行使质料占 比 23%。

　　Edwards 是真空和尾气处体会决企图成立及提供厂商的佼佼者。公司供职于 半导体、机械显现、可再生及存在能源、科学探求、LED、制药和冶金等先进行业。 公司产品种类完毕从油泵到干泵、从小抽速到大抽速各个品类的大面积弥漫。

　　Advanced Energy 竭力于为客户圆满电力的愚弄、输送和照管格式，为合节 工艺安插和成立细腻电源调动、测量和限度管理盘算。公司产品紧张包括直流电源、 直流脉冲电源、低频和中频电源以及射频电源，产品行使周围雄伟，掩盖半导体、 家产、创立、电信、诊疗等行业。

　　与半导体设置零部件的市集界线相较，我们国国产化提供量与商场须要高度不 立室。半导体设置零部件的国产化率全体较低，片面产品已竣工技能争执，但多数 产品的升平性和整齐性仍与国外生活差距，具有势必的突破难度，欺骗于高制程设 备的产品工夫冲突难度则更高。除机械类零部件之外，较纷乱的高端产品亟待开展 国产化经过。

　　所有人国主要从事半导体兴办严谨零部件研制的企业连续填补，也有多家上市公 司结构零部件行业。劳绩于国家战术要点策动并多方保护国内集成电途及其专用 兴办家产的筹划转机，我们国主营或涉及零部件贸易的厂商获得了精美的开展遭遇， 零部件国产化经过正在加快。现时行业全体还处在早期疾速生长阶段，生存不少的 转机机遇，也将面临技艺迭代和市集洗牌的挑衅。对付各联系目的的实在开业进步 你们将在后文中细密商讨。

　　江丰电子的首要产品为超高纯金属原料的溅射靶材以及半导体物业建立机台 的环节零部件。江丰半导体严密零部件的种类浩繁，囊括金属、陶瓷、树脂等精密 零部件，产品已雄伟用于 PVD、CVD、刻蚀机等半导体设置。产品听命客户恐怕 分为两大类：一类欺骗于摆设厂商，席卷工艺零部件和腔体等；另一类是操纵于晶 圆厂的闭键工艺零部件。 公司的零部件买卖发扬历程亦是基于 PVD 溅射靶材主业所积蓄的客户资源和 武艺体验，从 PVD 开发零件启碇，拓展了用于 PVD、CVD、CMP、单晶炉、清 洗机等多种设备的零部件产品。从零部件规范上，沉要分为两种，一类是金属组织 件，包罗腔体等，一类是附加值更高的功效性零部件，囊括气体喷淋一级。公司在 两类产品上均实行了较随便度的参预和扩产。

　　功劳于靶材主业和零部件新买卖的强势阐明，江丰比年收入领域庇护慎重增 长态势。2017-2021 年贸易收入由 5.50 亿元增至 15.94 亿元，年均复闭增快 30%， 个中，半导体零部件增势更为亮眼。2021 年江丰电子零部件销售额 1.84 亿元， 同比增加 239.96%，2022H1 则到达 1.77 亿元，同比增进 149.58%。公司在宁 波余姚、上海奉贤、沈阳沈北三地建成零部件坐蓐基地，并与国内半导体兴办龙头 北方华创、拓荆科技、芯源微、上海盛美、上海微电子、屹唐科技等多家厂商变成 计谋配闭，积极开发并加速放量各式半导体邃密零部件产品。

　　借助主业补充的足够履历与本领积蓄，江丰电子不停完整半导体摆设周详零 部件的横向结构。在靶材主业的长久赔偿中，江丰电子据有超高纯金属提纯本事、 超高纯金属靶材结构织构局限本领、靶材异种金属大尺寸焊接武艺和金属靶材精 密加工技艺，是公司拓展筑立零部件营业的技艺根基。江丰电子亦有望基于其金属 资料性格和加工收拾等范畴的技能资历和客户优势，从来拓展响应腔体等金属件、 陶瓷件及石英件产品，万世拉长空间可观。

　　新莱应材主生意务之一为高纯及超高纯使用材料的研制与出售，紧张用于半 导体、食品安闲和生物医药领域。公司半导体零部件产品涵盖真空阀门、管路管件、 反映腔体、气体钢瓶等多个品类，可能舒服半导体建设中清洁气体、特别气体和计 量精度等分外工艺以及真空度和贞洁度的央求。

　　动作全国领先的纯净设备及质料供应商，公司泛半导体生意领域速快伸长。 2022 年 H1，公司泛半导体交易杀青收入 3.17 亿元，同比伸长 62.26%，毛利率 达 35.27%，同比造就 1.78 pct。公司泛半导体范畴产品弥漫半导体开发的真空系 统和睦体管道格局，国际顶尖客户的招供及与国内知名配置企业的互助使公司迅 疾扩展销售范围。

　　公司的半导体零部件产品据有开阔的国际认证，已资历 AMAT、Lam 等举世 一流半导体摆设客户认证并成为其一级供应商，顺利杀青对北方华创、中微公司、 中芯国际、长江保留、无锡海力士的批量供货。在真空管配件与 UHP 超高纯等第 气体管途格式占据全盘系列对标国际品牌，并在高端真空阀门、气体管路及气体控 制元件等产品方面，与 AMAT、北方华创等国内外龙头半导体成立筑造企业完毕 配合。

　　分业务收入展望： 包材贸易主要为食品包装原料，为新莱子公司山东碧海的急急生意，低劣以乳 制品、饮料等为主，国内商场需求安全。公司 2018 年收购山东碧海以后，买卖整 合就手，2021 年包材业务收入延长可观。我预测 2022-2024 年包材贸易收入 分手完成 25/24/20%的矜重拉长。毛利率方面，2021 年上游原资料大幅涨价， 导致包材交易毛利率下滑，全班人预测 2023 年上游价格压力逐步缓解，2022-2024 年毛利率分袂为 17/18/19%。 简单欺骗质料告急诈骗于生物医单方向，2021 年疫情时期，医药商场必要有 较大拉长，我们展望 2022-2024 年纯正使用资料收入杀青 23/20/20%的慎重增 长。毛利率方面，2022 年 H1 该贸易毛利率大幅拔擢，达到 38.8%，告急来源系 卑劣商场供不应求，全班人预计随同阛阓供需相闭逐步冷静，该生意在 2022-2024 年毛利率分离为 36/36/35%。

　　华亚智能笃志于向国内外领先的高端配置创建商供给“小批量、多品种、工艺 庞大、细密度高”的定制化周密金属布局件产品。其细致金属组织件产品广大欺骗 于半导体建造、新能源及电力摆设、调治用具和通用设置界线，深耕举世精密金属 构造建立市集。 在半导体设备界线，华亚智能的直接客户为超科林、ICHOR、捷普等装备部 件创制商，并加入了 AMAT、Lam、中微半导体等国内外半导体成立设置龙头的 供应链式样。公司的严谨金属构造件开始供给给部件厂商创造建设关键子体例和 模组，终末被使用于：晶圆刻蚀筑设、PECVD、气体输送设置、气相重积建立、晶 圆检测筑立等。

　　劳绩于半导体交易的强势发挥，公司频年收入稳重增进，22H1 公司达成营收 2.88 亿元，同比伸长 23.77%，告竣归母净利润 0.74 亿元，同比增进 55.58%。 产品结构上，半导体装备零部件为第一大贸易，新能源及电力装备零部件为第二大 业务，另外辨别为通用开发零部件、轨交零部件、医疗用具部件。

　　技术壁垒方面，华亚智能的精密焊接及皮相特别喷涂的本领在业内享有较高 诺言，外观照应才能特别。公司焊接工艺得到欧盟、美国等的资质认证评定，还具 有经过 AMAT 认证的 Everslik 有机溶剂漆喷漆武艺（国内首家、国际 4 家之一）、 静电粉末喷涂本事。焊接工艺、喷漆技能资历不光领跑国内供应商，也具有强劲的 国际逐鹿力。 华亚智能不绝将半导体摆设规模构造件买卖动作中心起色买卖，并曾经成为 公司销售收入和利润伸长的厉浸来源，且临盆的周到金属结构件已诈骗于国内外 出名半导体配置缔造商的主导产品中，是国内为数未几的关联高端严密金属成立 商之一。公司来日将不停加大对半导体装备畛域结构件产品研发、临蓐参与资源， 积极开拓国内半导体设置范围的新客户，告终从半导体兴办结构件树立商向半导 体建筑综合配套修立效劳商的转型。

　　分买卖收入预测： 华亚智能在 2021 年 IPO 上市之后举办了主生意务分类的改变，将主开业务 由按轻贱市场分类的半导体/新能源/轨路交通/调治/通用配置调节为按营业表率 分类，分为稹密金属组织件和半导体建造维筑两类。 精致金属构造件生意方面，公司的马来西亚子公司、IPO 募投项目有望在 2023 年成就较大的产能增量，全班人们瞻望该开业收入在2022-2024年区别告竣33/50/50% 增进，毛利率则有望受益于半导体零部件占比擢升而稳步教育，大家展望该贸易 2022-2024 年毛利率离散为 39/40/41%。

　　Compart Systems Pte. Ltd 是环球领先的半导体气体输送体例范畴精细零 组件及流量束缚管束部署需要商，具有任事于全球顶尖半导体开发公司的成熟经 验。2020 年 12 月，万业企业领头境内外投资人，以浙江镨芯和镨芯控股为持股 主体收购 Compart 的 100%股权，并成为其第一大股东。收购竣工后 Compart 转换为中资控股企业，快快导入国内半导体设置厂商的供给链，扩展了国内合连供 应链的空白规模。 Compart 的产品结构充足、技术势力蓬勃，是全球一些数可杀青流量限制领 域零组件细致加工全环节的公司之一。公司紧张产品囊括气体输送零部件、组件、 密封件、原料流量节制器（MFC）等，是高端 MFC 组件的领先者，而且能竣工半 导体建设流量限制规模的研发安插、流量局部、二次经过、安装测试等全关键。同 时，公司支配 TriClean、Ultra-Seal、iBlock 等多项核心技能，诈骗其独家炼钢技 术 TriClean，可使制成品的耐腐化本能较平日高纯不锈钢培养 2.5-11 倍，包管了 零件临盆的优质原料自给提供。

　　借助全球筹划阅历，明天有望加速导入国内客户供应链。2021 年浙江镨芯（万 业企业子公司，Compart 的控股母公司）贸易收入 9.20 亿元，净利润 1.01 亿元.。 借半导体摆设高度景气之势，2021 年 6 月浙江镨芯与海宁签约启动 Compart 制 造核心项目，总投资约 30 亿元，开发缔造基地和研发核心，投产后每年可告终营 收约 15 亿元。项目竣工后将加速鞭策半导体核心零部件的国产化流程。

　　在 Compart 导入国内供给链前，其联系的流量限制赛道国产化率简直为零。 Compart 具有全球先辈的特别密封件创造工艺和技艺，平和向多家国际半导体设 备龙头厂商需要零组件，其成熟体验有助于拔擢气体输送体例及高精度流量束缚 等界线中央组件与部件的国产化率，助力国内建造厂商联系领域的国产取代。

　　英杰电气是国内综合性家当电源研制范围内有较强竞争力的企业，从事以功 率节制电源、特种电源为代表的家当电源兴办的研发、分娩与出卖，产品可诈欺于 新能源范围、半导体等电子材料规模等。 英杰电气的半导体行业产品严沉用于材料临盆兴办的电源控制。在半导体材 料领域，公司产品首要诈欺于上游资料行业，如半导体用单晶硅、碳化硅晶体、LED 外延片等的临盆配置。产品简直席卷射频电源、直流模块电源、微波开合电源、感 应电源等高精度、高机能、高升平度的电源设置，以及谐波调换、功率限度器、匹 配器等装载了高智能限定模块的配置。公司从来加大技能研发与资源参预，研制高 端射频电源以替换进口电源摆设，今朝已小批量试制并交客户试验。

　　成果于不才游光伏、半导体等行业的收入伸长，22H1 公司告竣营收 4.52 亿 元，同比增进 67.87%，竣工归母净利润 1.22 亿元，同比伸长 68.18%。22H1 公 司半导体等电子原料开业增进迅猛，新增订单 1.73 亿元，同比飞腾 86.21%，实 现收入 0.58 亿元，同比增加 187.05%，毛利率为 53.15%，到达史籍新高。

　　富创邃密是国内半导体修筑周到零部件的领军企业，重要开业为金属原料零 部件细密树立，急急产品包围工艺零部件、布局零部件、模组产品和蔼体管路四大 类，欺骗于半导体设备畛域，包围集成电途树立中刻蚀、薄膜重积、光刻及涂胶显 影、化学刻板掷光、离子注入等中央要害修筑。

　　富创细腻左右了可惬心严格标准的缜密板滞缔造、外貌打点特种工艺、焊接、 组装、检测等多种创建工艺，产品的高稹密、高纯正、高耐腐蚀等本能均达到甚至 优于主流国际客户准则。刻下，公司已进入多家全球半导体修立龙头厂商提供链体 系，况且是 AMAT 的全球策略需要商。同时，基于半导体装备国产化趋势，公司 积极开辟境内阛阓，产品已参加主流国产半导体摆设厂商，包管了大家国半导体物业 供给链平安。

　　公司的工艺技能、行业口碑、产品材料和交付能力不停取得境内外客户供认， 事迹速速增长。2019-2021 年，公司买卖收入涣散为 2.53 亿元、4.81 亿元和 8.43 亿元，近三年复关拉长率为 82.43%。节余能力方面，2021 年公司毛利率/ 净利率分袂达到 32.04%/14.40%。 收入结构按商场地域来看，主营业务收入重要出处于大陆之外地区，但内销占 比逐年培养。产品紧要销往国际半导体筑立厂商在北美和亚洲的组装工厂，而随着 国内半导体修设厂商兴起，2019-2021 年公司大陆地域销售收入占比由 15.34% 汲引至 39.32%。

　　在严沉产品毛利率方面，2019 年公司扩产完毕后产能利用率大幅提拔，重要 产品毛利率在 2020 年提拔清楚。而模组产品毛利率较低，是因由其属于高度定制 化产品，需外购准绳件连络自产零部件组装，而外购成本占比力高。其它，气体管途产品在 2019 年属于前期小批量验证阶段，毛利率不具参考性。 富创精细小我腔体、内衬、匀气盘等高端产品已应用于客户 7nm 制程的前道 设备中，是全球为数未几的可以量产利用于 7nm 工艺制程半导体摆设的周到零部 件创设商，已成为多家国内外半导体筑设龙头厂商的合格供给商。公司吐露将来将 衔接扩展 7nm 工艺制程摆设缜密零部件的品类，并加速研制以利用于 5nm 及更 先进工艺制程。

　　正帆科技向泛半导体、光纤创办、生物医药等高科技资产客户需要症结体制、 核心质料及专业办事。公司吃紧贸易涉及气体化学品提供格局、高纯特种气体和洁 净厂房配套编制，吃紧产品有电子工艺兴办、生物制药筑筑、电子气体和 MRO（速 速响应、建立维保和形式运营）效劳。 深耕于半导体行业及工艺介质需要式样业务 20 余年，正帆自立研发分娩联系 半导体建设及其配件，在高纯气体供给方式、自动化束缚真空装配、工艺摆设等领 域都有先进工艺手艺与成熟创制阅历，在刻蚀、离子注入、薄膜沉积、黄光工艺等 环节制程都能供给相应的布置树立处置准备。 当前正帆半导体配置配套开业从厂务端延伸到摆设端，为泛半导体行业客户 供给工艺装备或子格式 Gas Box 的依靠加工(OEM)或拜托安放加工(ODM)任职。 Gas Box 是一种在半导体工艺建筑侧的模组化气体供给格式，也是核心零部件之 一。Gas Box 产品涉及工艺设备里面功能模块的客户秘密，定制化高、纯度精度 高、工艺难度高，是导入难度极高的零部件。基于多年的耕耘与主动伸开研发合营， 公司或者在纯度、工艺、平安范围上顺心多项定制化要求，再加以配置超高纯管道 预备企图、原料部件、实验法则与客户需要的其我们格局，能保障特种气体的密合式 承平储备以及不断绝输送，而且满足不同行业和设置对气体输送的央浼。

　　正帆科技永恒争持自主研发，埋头于为下旅客户供应枢纽质料的全过程综合 处分策画。作为国内最早投入电子工艺修立界线的本土厂商，正帆参加编写了 7 项 国家绳尺和行业准绳，主导了国内老牌集成电途厂商工艺介质输送格式的开发工 作，如上海落后、华润半导体、和舰科技等。目前公司电子工艺开发生意也已导入 中芯国际、长江存储、长鑫保全等发动客户群体。 在电子工艺设置买卖中，公司掌握了症结高端树立兴办部件的研发才智。服从 区别行业、客户的工艺需求，可定制化研发出具有凌乱理化特色工艺介质的供应系 统，并向来抬举产品对介质纯度、温度、压力、流量等参数的控制技能及太平仔细 才具。方今，公司在牢固的研发来历之上，已完满较为全部的铺排开发才能，能够 应对客户对形式听命提出的特质化需求。明天，正帆将群集加入研发实行手艺攻坚， 以满独揽游前辈高端创制业的前瞻性需求。

　　汉钟精机是国内流体机电家当的领军企业，重要产品或服务为 R 系列制冷压 缩机、A 系列气氛缩小机组和机体、L 系列冷冻冷藏缩小机组及 P 系列真空产品 等。现在汉钟精机欺骗在各半导体工艺中的产品有三个系列：PMF 系列、iPM 系 列和 iPH 系列产品。

　　频年来汉钟精机买卖进步精深，收入利润都有康健平和的增加。2021 年告终 生意收入 29.81 亿元，同比增进 31.20%，归母净利 4.88 亿元，同比增长 33.80%。 2022 年上半年营收 13.69 亿元，归母净利 2.46 亿元，团体支柱肃肃增速。 公司的真空产品事迹亮眼，营收贯串高增，毛利率稳中有升。2021 年线.98%；毛利率为 43.14%。

　　汉钟的半导体界限产品为能合意半导体最先进工艺的全系列中真空干式真空 泵产品，并拥有 SEMI 泰平基准验证证书，当今为隆基股份、晶盛机电、中环股份 等着名厂商需要真空泵。公司亦陆续扩大产能释放、加强本事及产品研发、优化售 后维筑体系，多方位完好真空产品生意。汉钟台中厂三期 2022 年一季度当初 慢慢到场应用，上海厂三期瞻望 2023 年一季度起首渐渐参加操纵，为公司进一步 增加产能供应包管。公司还相接启发罗茨泵、旋片泵、微油螺杆泵等并改善产品性 能，完美真空泵业务的分级维筑格局，进一步弥漫市集，拓展公司产品在半导体产 业的起色。

　　作为半导体硅材料范畴的带头者，静心于集成电路刻蚀用单晶硅材料，神工股 份 2020 年从既有范畴向下游硅零部件产品拓展，由全资子公司福筑精工半导体进 行坐蓐，并取得先河顺遂，达成了硅质料的自产自用。面前，公司在半导体硅零部 件板块的铺排产能居全国发动场所，完全“从晶体滋长到硅电极成品”的齐备建立能 力，兼具缔造本领优势和资本优势。 神工股份有三类紧张产品：大直径硅材料、硅零部件、半导体大尺寸硅片。公 司守旧产品大直径硅原料，经历切片、磨片、腐蚀、打微孔、样子加工、掷光、清 洗等一系列细致加工后，终末成为刻蚀机腔体中的硅上电极，或与晶圆直接交手的 硅片托环等硅零部件。 现时，硅零部件产品运用的国内客户可分为两类：一类是配套等离子刻蚀机设 备创立厂商，公司在与中微公司和北方华创实行开垦配合，以研制出适配于差异机 型的多种硅零部件产品；另一类是末了集成电道缔造厂，公司产品可包围其绝大多 数硅零部件规格，并已得到国内多家 12 英寸集成电道创造厂的送样评估时机，取 得了小批量订单。

　　硅零部件是刻蚀工艺的核心耗材，质料大直径硅属于脆硬资料，加工难度极高。 经过悠久的研发与技能抵偿，神工左右了硅原料的加工身手。在硅零部件畛域，公 司开导的“单晶硅及多晶硅资料轻细深孔加工身手”履历科技成绩评判，到达国际先 进水准；中央本事“硅电极微深孔内壁扔光技巧”和“脆性质料非标螺纹加工身手”已 应用于批量生产中。公司研发团队还发达了 22 英寸以上半导体硅零部件所需多晶 质资料的工艺攻合，将衔接鼓动干系项目。

　　华卓精科以超精密测控技术为泉源，研发、坐蓐超精细测控筑设部件、超严谨 测控摆设整机并供给合连技艺启迪任职。公司的超严密测控装备部件产品囊括精 密活动形式、静电卡盘和隔振器等。作为国内首家可自助研发并告竣商业化临蓐的 纳米精度举止与测控体例提供商，华卓精科在中高端周到举止体系阛阓取得了一 定市场份额，并在静电卡盘畛域突破了外洋厂商好久垄断的景色。

　　随着国内半导体产业的繁盛开展，华卓精科营收安闲上涨。2017-2020 年公 司营收从 0.54 亿元增至 1.52 亿元，毛利由 0.34 亿元增至 0.69 亿元。严浸的超 细致测控配置部件客户买卖有所拉长，从而使得采购量添加、公司事迹络续延长。 2018-2020 年公司超细腻测控修造部件业务收入诀别为 0.80 亿元、0.85 亿元和 1.18 亿元，占当期主营收入判袂为 93.48%、69.96%和 77.56%。