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　　记者这日从国防科技大学获悉：由该校机电工程与自愿化学院自决研制的新一代超精深光学零件加工设备，日前历程合系单位陷阱的工艺窥探。成绩表明，该套设备加工精度实现亚纳米级健壮冲破，其楷模测验件的光学零件面形精度RMS（均方根）值到达0.361纳米，符号大家国超精致光学零件加工工夫跨入宇宙遇上队列。

　　超工致加工技术是前进装置制造的合键性瓶颈技能，纳米精度被誉为超精采加工技巧“皇冠上的明珠”。夙昔，由于我们国光学零件加工手艺后进，无法进行大口径、高精度、庞杂面形的光学零件加工，厉浸制约联络范围的技巧赶上。20世纪80年月往后，该校精美工程维新团队在李圣怡修养携带下，源委30多年坚定拼搏与自立鼎新，先后冲破高精度机床精良营谋机构安插、高效磁流变扔光液配制、离子束宁静独揽、光学元件亚纳米全频段偏差驾御等主旨症结工夫，研制出一系列具有自立知识产权的磁流变、离子束扔光配备，冲破了回复国家对超工致加工装备的技术关合，使全部人国成为继美、德之后闭座独揽磁流变和离子束扔光装置两种高精度光学零件加工技术的国家。

　　频年来，该校精采工程改善团队在“极大界限集成电路筑筑配备与成套工艺”国家强盛科技专项二期项目和国家自然科学基金壮大项目保护下，研制班师新一代离子束抛光机床与数控光顺扔光机床，其最小可控原料去除量到达0.1纳米。有关大家指出，这一自决鼎新功劳可为“极大周围集成电途修造装备与成套工艺”、“高辩白率对地张望体系”等国家庞大科技专项提供有力技能担保和设备撑持，将直接激励接洽领域合节手艺打破，周旋扶植我国提高装置建设程度具有首要意思。（报记者王握文、通讯员王孝恭、汪东）